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產品詳情
  • 產品名稱:全自動勻膠機旋涂儀

  • 產品型號:CY-SPC8-SS
  • 產品廠商:成越科儀
  • 產品文檔:
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簡單介紹:
全自動勻膠機旋涂儀是一種基于離心力原理的精密涂覆設備,通過程序化控制基片旋轉速度、加速度和時間,實現(xiàn)液體材料(如光刻膠、PDMS膠等)在基片表面的均勻分布,形成高質量薄膜或涂層
詳情介紹:

     全自動勻膠機旋涂儀是一種基于離心力原理的精密涂覆設備,通過程序化控制基片旋轉速度、加速度和時間,實現(xiàn)液體材料(如光刻膠、PDMS膠等)在基片表面的均勻分布,形成高質量薄膜或涂層。其核心設計結合了自動化控制、**防護及高精度傳感器技術,廣泛應用于半導體制造、光學涂層、微機電系統(tǒng)(MEMS)及材料科學研究領域
.核心功能特點

?1.精密控制能力?

采用閉環(huán)控制伺服電機和數(shù)字式增速反饋系統(tǒng),確保轉速穩(wěn)定(100–10000 rpm)和加速/減速的精準控制,保障薄膜厚度均一性。

支持多段程序化操作(如5段程序組、10個勻膠梯度階段),可自定義轉速、時間及加速度參數(shù),滿足復雜工藝需求。

?2.自動化與**性?

配備5寸全彩觸摸屏,支持智能編程和實時監(jiān)控,實現(xiàn)一鍵操作和參數(shù)記錄。

集成電磁**開關、自鎖上蓋和雙重密封設計,防止飛片事故和化學污染,確保操作人員**。

?3.多功能適配性?

真空吸附系統(tǒng)兼容多種基片尺寸(如2–8英寸),支持真空固定基片,避免涂覆偏移。

      可選配超聲波加熱或惰性氣體保護功能,適用于光刻膠預烘烤或敏感材料的涂覆工藝。

二、主要應用領域

?1.半導體制造?

用于光刻膠涂布、SU-8模具制備等工藝,保障晶圓表面涂層的均勻性和厚度一致性。

?微流控與MEMS技術?

PDMS芯片制作中均勻涂覆聚合物膠液,滿足微流控通道或傳感器結構的精密需求。

?2. 光學與材料科學?

制備光學薄膜(如防反射涂層)、納米材料涂層,以及生物材料表面功能化處理。

?3. 科研與教育?

適用于高校和實驗室的薄膜工藝研究,支持重復性實驗和教學演示

產品特點:

1、專業(yè)級伺服電機驅動,高精度、高重復性

2、人性化設計,ARM控制,安卓全彩觸屏操作

3、不銹鋼內腔,陽極氧化處理面板,美觀、整潔

4、可連續(xù)、自動供膠,滿足工業(yè)用途

5、可添加防濺罩式清洗和顯影功能,滿足定制需要

6、適合處理超大或超重底物,*大處理12寸圓形底物

7、更大尺寸和重型底物以及內腔抽真空等要求均可定制

技術參數(shù):

產品名稱

全自動勻膠機

產品型號

CY-SPC8-SS

供電電壓

AC220V  50Hz

基片尺寸

6寸、8寸鋁合金真空載物盤

腔體材質

不銹鋼

轉速

20-10000rpm

轉速分辨率

±1rpm

加速度可調范圍

20-10000rpm/s

單步時長

3000s

時間分辨率

1s

編程

可編程100100步程序

點膠端口

可擴展帶四路自動點膠端口

點膠功能

可升級多路自動點膠功能

滴膠方式

自動

操作方式

液晶屏操作系統(tǒng)

產品尺寸

390*367*356

產品重量

35KG

豫公網安備 41019702002438號

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