主要性能指標

1：主機機箱采用不銹鋼材料（抗化學腐蝕易清潔）

2：內(nèi)腔采用易清潔、耐腐蝕的超高分子材料（HDPE）

3：旋涂程序：*多可存100組程序，每組100步，每個步驟可**到0.1秒

4：旋涂速度：0-10000rpm

5：旋涂加速度：0-50000rpm/s

6：馬達旋涂轉速穩(wěn)定性能誤差：＜±1rpm（CY-AC200-SE)；＜±0.1rpm（CY-AC200-PE)

7：轉速調節(jié)精度及重復性：1rpm（CY-AC200-SE);0.1rpm（CY-AC200-PE)

8：CY-AC200-PE另帶真空數(shù)字顯示、開關壓力調節(jié)和電子水平顯示功能

9：工藝時間設定：0-3000sec/step，時間設置精度：0.1sec

10：支持wafer尺寸：碎片至200mm（8''圓晶）

11：旋涂作業(yè)均勻性：＜±3%在6英寸范圍內(nèi)（需要去除邊緣3毫米測量）

產(chǎn)品特性優(yōu)點

1：*新的內(nèi)部緊湊設計，縮小了設備的尺寸

2:采用7英寸觸摸屏控制面板，操作更加便捷

3：采用“密閉碗”設計，可以適應各種材料的勻膠工藝。

4：標準配置的轉速為10000rpm，可以根據(jù)用戶需要進行定制

5：采用工業(yè)級的伺服電機，電機獨特的設計可以避免光刻膠等污染物進入電機內(nèi)部

6：機身選用耐酸堿、耐沖擊、耐腐蝕不銹鋼，永不生銹，便于清洗。

7：排風和抽氣系統(tǒng)位于載片臺的底部，利于排風效率和勻膠的均一性

8：透明可視，耐化學腐蝕的密封蓋，可以在旋涂作業(yè)時完全隔絕光阻的溢出及有效隔絕有毒氣味的散發(fā)。