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產(chǎn)品詳情
  • 產(chǎn)品名稱:凈化型4寸勻膠機(jī)

  • 產(chǎn)品型號(hào):CY-SPC4-SS-JH
  • 產(chǎn)品廠商:成越科儀
  • 產(chǎn)品文檔:
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簡單介紹:
凈化型勻膠機(jī)廣泛用于半導(dǎo)體硅片的勻膠鍍膜等,例如對(duì)大型晶圓、芯片、晶片等進(jìn)行工藝制版時(shí),可用此凈化型勻膠機(jī)進(jìn)行各種膠體的表面涂覆或光刻工藝勻膠;是集成電路及半導(dǎo)體器件生產(chǎn)過程中涂覆勻膠的專用設(shè)備?。該設(shè)備中涂膠部分含有兩個(gè)工位的勻膠臺(tái),可分別獨(dú)立工作,也可兩臺(tái)同時(shí)工作。
詳情介紹:

凈化型勻膠機(jī)特點(diǎn):

1、帶有100級(jí)空氣凈化裝置,可有效除去勻膠臺(tái)周圍空氣中的污染微塵,防止

   勻膠過程中的雜質(zhì)污染。

2、 設(shè)置有LED照明燈,可程控照明,非常方便日常操作。

3、可設(shè)置時(shí)間--轉(zhuǎn)速曲線,程序控制勻膠工藝

4、7英寸液晶顯示屏,操作簡單易學(xué)無需專業(yè)學(xué)習(xí)

5、采用無刷伺服電機(jī),電機(jī)設(shè)計(jì)避免光刻膠等污染物進(jìn)入電機(jī)內(nèi)部。
6、機(jī)身選用耐酸堿、耐沖擊、耐腐蝕不銹鋼、永不生銹,便于清洗。
7、排風(fēng)和抽氣系統(tǒng)位計(jì)于載片臺(tái)之底部 (以利于排風(fēng)效率和勻膠均一性)。
8、透明可視,耐化學(xué)腐蝕的密封蓋,可以在旋涂作業(yè)時(shí)完全隔絕光阻的溢出有效

     隔絕有毒氣味的散發(fā)。

9、前面板設(shè)置有電動(dòng)玻璃屏升降按鈕,可電動(dòng)升降前擋玻璃板。

主要技術(shù)參數(shù):

勻膠時(shí)間

1-99 

勻膠轉(zhuǎn)數(shù)

0-8000轉(zhuǎn)/

操作區(qū)風(fēng)速

0.3-0.5/(有效操作區(qū)氣流狀態(tài):垂直層流()適用于φ8mm-φ100mm晶體硅片及其它材料等勻膠

凈化效果

100級(jí)(美國聯(lián)邦標(biāo)準(zhǔn))

外形尺寸

650x750x1620mm 

外體顏色

亞白色

控制范圍和精度

轉(zhuǎn)速控制范圍為:500-8000轉(zhuǎn),精度為±3%

時(shí)間控制范圍為

1-99秒,精度為±5%

轉(zhuǎn)速調(diào)整

采用PID調(diào)節(jié),精度高

轉(zhuǎn)速查看智能化

可自動(dòng)識(shí)別哪個(gè)電機(jī)開或關(guān),自動(dòng)轉(zhuǎn)換到開啟的電機(jī)上。可予先選定,也可在運(yùn)行中隨時(shí)查看任一電機(jī)的轉(zhuǎn)速



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