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產(chǎn)品詳情
  • 產(chǎn)品名稱:全自動CVD滑軌爐

  • 產(chǎn)品型號:CY-CVD1200-50-220×220-4TH-Q
  • 產(chǎn)品廠商:成越科儀
  • 產(chǎn)品文檔:
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簡單介紹:
全自動CVD滑軌爐系統(tǒng)由雙溫區(qū)滑軌爐、質(zhì)子流量控制系統(tǒng)、真空系統(tǒng)三部分組成。雙溫區(qū)滑軌爐可移動并可實(shí)現(xiàn)快速升降溫;四路質(zhì)子流量計(jì)能夠準(zhǔn)確控制系統(tǒng)的供氣;全自動CVD滑軌爐真空泵可實(shí)現(xiàn)對管式爐快速抽真空。
詳情介紹:

全自動CVD滑軌爐設(shè)備操作時(shí)可將實(shí)驗(yàn)需要的恒定高溫直接推到樣品處,使樣品能得到一個(gè)快速的升溫速度,同樣也可將高溫的管式爐直接推離樣品處,使樣品直接暴露在室溫環(huán)境下,得到快速的降溫速率。

適用于高校、科研院所、工礦企業(yè)做石墨烯的生長、高溫氣氛燒結(jié)、氣氛還原、CVD實(shí)驗(yàn)、真空退火,尤其適合需要快速升降溫的CVD試驗(yàn)。


全自動CVD滑軌爐技術(shù)參數(shù):


項(xiàng)目

明細(xì)

供電電壓

AC220V50Hz

整機(jī)功率

5KW

工作溫度

1100℃

加熱速率

建議10/min

爐管尺寸

O.D.50mm-220mm-220mm(加熱區(qū))-1200mm管長

控溫精度

0.1℃

溫區(qū)

雙溫區(qū)

混氣系統(tǒng)

4路質(zhì)子流量計(jì):100sccm1個(gè);200sccm1個(gè);500sccm2個(gè)

真空泵

雙極旋片真空泵

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