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產(chǎn)品詳情
  • 產(chǎn)品名稱:CVD法培育鉆石

  • 產(chǎn)品型號(hào):CY-MPCVD-10W
  • 產(chǎn)品廠商:成越科儀
  • 產(chǎn)品文檔:
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簡(jiǎn)單介紹:
人造鉆石是一種由直徑10到30納米的鉆石結(jié)晶聚合而成的多結(jié)晶鉆石,等離子增強(qiáng)化學(xué)氣象沉積PECVD合成法制造,人造鉆石主要用于制造切割工具等工業(yè)用途上,同樣也被使用在珠寶首飾上
詳情介紹:

人造鉆石是一種由直徑10到30納米的鉆石結(jié)晶聚合而成的多結(jié)晶鉆石,等離子增強(qiáng)化學(xué)氣象沉積PECVD合成法制造,人造鉆石主要用于制造切割工具等工業(yè)用途上,同樣也被使用在珠寶首飾上。

技術(shù)參數(shù):

微波源

10 kW SAIREM微波發(fā)生器

2.45GHz磁控管微波頻率

循環(huán)器和隔離器

自動(dòng)操作的EH-tuning元件

等離子源

6"等離子源,激發(fā)頻率2.45GHz
能夠在低到高功率密度等離子體中工作
獨(dú)特的高功率密度溫度控制能力
氣體從下側(cè)進(jìn)入腔室
偏置電極

基板支架

可更換基板支架:
冷卻元件(約D75mm
可更換支架板,便于清潔和維護(hù)
鉬等離子接觸件
生長(zhǎng)過程中自動(dòng)調(diào)整高度

小木屋

蛤殼式蓋子,便于基板放置和清潔
水冷鋁合金結(jié)構(gòu)
氣體管理系統(tǒng)
5條氣體管線,包括5個(gè)質(zhì)量流量控制器(根據(jù)要求添加)
MFC系統(tǒng)
壓力控制器范圍:100-300mbar

真空

渦輪分子泵+干式初級(jí)泵

CVD控制器

電腦控制器配方驅(qū)動(dòng)操作
遠(yuǎn)程控制、檢測(cè)、系統(tǒng)升級(jí)
基板攝像頭(可選)
高溫計(jì)范圍:400-1700°C



人造鉆石

豫公網(wǎng)安備 41019702002438號(hào)

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