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產(chǎn)品詳情
  • 產(chǎn)品名稱:鹵素?zé)鬜TP立式快速退火爐

  • 產(chǎn)品型號:CY-RTP1000-Φ200-300-V-T
  • 產(chǎn)品廠商:成越科儀
  • 產(chǎn)品文檔:
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簡單介紹:
鹵素?zé)鬜TP立式快速退火爐是一款8寸片快速退火爐,采用革新的加熱技術(shù),可實(shí)現(xiàn)真正的基底溫度測量,不需要采用傳統(tǒng)快速退火爐的溫度補(bǔ)償,溫度控制**,溫度重復(fù)性高,客戶包括國際上許多半導(dǎo)體公司及知名科研團(tuán)隊(duì),是半導(dǎo)體制程退火工藝的理想選擇
詳情介紹:

鹵素?zé)鬜TP立式快速退火爐是一款8寸片快速退火爐,采用革新的加熱技術(shù),可實(shí)現(xiàn)真正的基底溫度測量,不需要采用傳統(tǒng)快速退火爐的溫度補(bǔ)償,溫度控制**,溫度重復(fù)性高,客戶包括國際上許多半導(dǎo)體公司及知名科研團(tuán)隊(duì),是半導(dǎo)體制程退火工藝的理想選擇。

鹵素?zé)鬜TP立式快速退火爐

鹵素?zé)鬜TP立式快速退火爐技術(shù)參數(shù):

產(chǎn)品名稱

鹵素?zé)?/span>RTP立式快速退火爐

產(chǎn)品型號

CY-RTP1000-Φ200-300-V-T

基片尺寸

8英寸

基片基座

石英針(可選配SiC涂層石墨基座)

溫度范圍

150-1250

加熱速率

10-150/S

溫度均勻性

≤±1.5% (@800, Silicon wafer)

≤±1.0% (@800, Substrate on SiC coated graphite susceptor)

溫度控制精度

±3

溫度重復(fù)性

±3

真空度

5.0E-3 Torr / 5.0E-6 Torr

氣路供應(yīng)

標(biāo)準(zhǔn)1N2吹掃及冷卻氣路,由MFC控制(*多可選3路)

退火持續(xù)時間

35min@1250

溫度控制

快速數(shù)字PID控制

尺寸

900mm*650mm*1600mm



豫公網(wǎng)安備 41019702002438號

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