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產(chǎn)品詳情
  • 產(chǎn)品名稱(chēng):PECVD-R?旋轉(zhuǎn)等離子加強(qiáng)CVD設(shè)備

  • 產(chǎn)品型號(hào):CY-PECVD60R-1200-Q
  • 產(chǎn)品廠(chǎng)商:成越科儀
  • 產(chǎn)品文檔:
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簡(jiǎn)單介紹:
本產(chǎn)品為PECVD-R?旋轉(zhuǎn)等離子加強(qiáng)CVD設(shè)備。PECVD-R?旋轉(zhuǎn)等離子加強(qiáng)CVD設(shè)備十分適合在氣氛保護(hù)的環(huán)境下連續(xù)對(duì)粉末材料用CVD方法進(jìn)行包裹和修飾。
詳情介紹:

旋轉(zhuǎn)PECVD 

本產(chǎn)品為等離子增強(qiáng)回轉(zhuǎn)化學(xué)氣相沉積系統(tǒng)(旋轉(zhuǎn)PECVD),爐管采用變徑設(shè)計(jì),中部管徑較粗且有有混料隔板,能夠隨著爐管的旋轉(zhuǎn)將粉體或者顆粒反復(fù)混合,通過(guò)機(jī)械傳動(dòng)控制工作管能360°不間斷旋轉(zhuǎn),使得管內(nèi)物料攪拌混合獲得均勻受熱效果;設(shè)備另配有等離子發(fā)生裝置,采用電感耦合與爐管連接,產(chǎn)生的等離子能夠滿(mǎn)布爐管,有效的提高反應(yīng)物活化能,降低反應(yīng)溫度,提高反應(yīng)效率。設(shè)備配有三路質(zhì)量流量計(jì)及混氣裝置,可用于向路管內(nèi)通入多種氣體,同時(shí)設(shè)備配有高性能機(jī)械泵,能夠快速將爐管抽至真空;通過(guò)泵和氣路的配合可以實(shí)現(xiàn)多種CVD工藝。旋轉(zhuǎn)裝置十分適合在氣氛保護(hù)的環(huán)境下連續(xù)對(duì)粉末材料用CVD方法進(jìn)行包裹和修飾。

技術(shù)參數(shù)

雙溫區(qū)管式爐

產(chǎn)品型號(hào)

CY-PECVD60R-1200-Q

設(shè)備功率

3KW

爐管材質(zhì)

高純石英

爐管尺寸

Φ60*420+Φ100*360+Φ60*420mm(石英異型管)

爐膛長(zhǎng)度

440mm

加熱區(qū)長(zhǎng)

200mm+200mm

工作溫度

0~1150℃

極限溫度

1200℃

控溫精度

±1℃

熱電偶類(lèi)型

K型熱電偶

控溫模式

30段程序控溫,PID參數(shù)自整定

顯示模式

高清全彩LCD觸控屏

密封方式

304不銹鋼真空法蘭

供電電源

AC:220V 50/60Hz  

旋轉(zhuǎn)速度

0~13rpm

傾斜角度

0~35°

3路質(zhì)量流量計(jì)

產(chǎn)品型號(hào)

CY-3Z

氣路數(shù)量

3路

流量計(jì)類(lèi)型

質(zhì)量流量計(jì)

測(cè)量范圍

A路:0~100sccm; B路:0~200 sccm; C路:0~500 sccm

測(cè)量精度

±1.5%

工作壓差

0.1~0.5MPa

管路接口

1/4英寸卡套接頭

供電

AC220V 50/60Hz

真空系統(tǒng)

真空泵

雙極旋片泵

抽速

1.1L/s

抽氣接口

KF16

泵極限真空度

10E-1Pa

供電

AC220V 50/60Hz

射頻電源

信號(hào)頻率

13.56MHz±0.005%

功率輸出范圍

0~500W

*大反射功率

100W

射頻輸出接口

50Ω,N-Type,female

功率穩(wěn)定度

≤5W


豫公網(wǎng)安備 41019702002438號(hào)

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