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產(chǎn)品詳情
  • 產(chǎn)品名稱:桌面型雙源蒸發(fā)鍍膜儀

  • 產(chǎn)品型號:CY-EVZ170-Ⅱ-H-SS
  • 產(chǎn)品廠商:成越科儀
  • 產(chǎn)品文檔:
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簡單介紹:
本產(chǎn)品為桌面型小型雙源蒸發(fā)鍍膜儀,設(shè)備安裝有兩套蒸發(fā)源,各蒸發(fā)源分別供電,可交替開啟也可同時開啟;每個蒸發(fā)源可提供*大100A的鍍膜電流,*大蒸發(fā)溫度可達(dá)1800℃,能夠滿足各種常見金屬的蒸鍍及部分非金屬蒸鍍
詳情介紹:

本產(chǎn)品為桌面型小型雙源蒸發(fā)鍍膜儀,設(shè)備安裝有兩套蒸發(fā)源,各蒸發(fā)源分別供電,可交替開啟也可同時開啟;每個蒸發(fā)源可提供*大100A的鍍膜電流,*大蒸發(fā)溫度可達(dá)1800℃,能夠滿足各種常見金屬的蒸鍍及部分非金屬蒸鍍,因此被廣泛用于電極的制備和有機(jī)物發(fā)光LED的制備。真空腔體采用不不銹鋼制作,配合分子泵組可達(dá)到5x10-5Pa極限真空,能夠滿足絕大部分材料蒸發(fā)所需的真空環(huán)境。兩組蒸發(fā)源對稱放置,每個蒸發(fā)源均具有單獨(dú)的擋板,可保證鍍膜過程中不被污染。

小型雙源蒸發(fā)鍍膜技術(shù)參數(shù):

產(chǎn)品名稱

桌面型雙源蒸發(fā)鍍膜儀

產(chǎn)品型號

CY-EVZ170-Ⅱ-H-SS

樣品臺

外形尺寸

直徑φ60mm

轉(zhuǎn)速

≦20rpm

至蒸發(fā)源間距

60~100mm 連續(xù)可調(diào)

蒸發(fā)源

配 2 個鎢舟、2個鎢絲籃

蒸發(fā)電源

2個,每個蒸發(fā)源均配擋板

真空腔體

腔體尺寸

直徑φ170mm,高度210mm

觀察窗口

直徑φ60mm

腔體材質(zhì)

304不銹鋼

開啟方式

上開啟式

膜厚測量

膜厚測量儀(可選膜厚控制儀)

真空系統(tǒng)

前級泵

雙極旋片泵,氣體抽速1.1L/S

次級泵

渦輪分子泵,氣體抽速600L/S

真空測量

復(fù)合真空(電離規(guī)+電阻規(guī))

系統(tǒng)真空

5×10-4Pa

控制系統(tǒng)

CYKY自研專業(yè)級控制器

其他參數(shù)

供電電

AC220V,50Hz

整機(jī)尺寸

600mm×600mm×750mm

整機(jī)功率

1200W

整機(jī)重量

40kg


豫公網(wǎng)安備 41019702002438號

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