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產(chǎn)品詳情
  • 產(chǎn)品名稱:多通道膜厚監(jiān)控儀

  • 產(chǎn)品型號:CY-FTM-M4/M6?
  • 產(chǎn)品廠商:成越科儀
  • 產(chǎn)品文檔:
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簡單介紹:
? 適用于普通蒸發(fā)、電子束蒸發(fā)、磁控濺射、離子鍍等真空鍍膜厚度測量,特別適合多蒸發(fā)源鍍膜機和多腔室鍍膜機進行膜層監(jiān)控; 膜厚監(jiān)控儀的控制和顯示均通過觸摸屏實現(xiàn),使您能獲取完整的沉積數(shù)據(jù),包括速率、厚度和鍍膜時間等。
詳情介紹:

一、技術特點:

      1.多達六路探頭可同時監(jiān)控,每路自由設置,既能獨立運行,也可聯(lián)合工作。

      2.每路二組繼電器輸出,到達設置厚度自動關閉擋板/蒸發(fā)源;

      3.全觸摸屏操作顯示,簡單易用;

      4.提供RS232/RS485接口,MODBUS RTU標準協(xié)議,多波特率可選,并配有專用控制軟件。

二、應用范圍:

       適用于普通蒸發(fā)、電子束蒸發(fā)、磁控濺射、離子鍍等真空鍍膜厚度測量,特別適合多蒸發(fā)源鍍膜機和多腔室鍍膜機進行膜層監(jiān)控;

膜厚監(jiān)控儀的控制和顯示均通過觸摸屏實現(xiàn),使您能獲取完整的沉積數(shù)據(jù),包括速率、厚度和鍍膜時間等。

 

三、主要參數(shù):

 

CY-FTM-M4/M6多通道監(jiān)控儀

晶振頻率

 6MHz(可選2.5M 3M 5M 9M晶體)

顯示方式

5”彩色觸屏+1路數(shù)碼管顯示速率和實厚

操作方式

 觸摸屏

厚度顯示范圍

0-99μ9999?

厚度實際分辨率

0.1?(鋁)

厚度顯示分辨率

1?

速率范圍

0-999.9?

速率顯示分辨率

0.1?/s

鍍膜層數(shù)

99

探頭輸入

4/6路(可同時工作)

工具因子

0.01-99.99

材料存儲

257+自定義10

通 訊

RS232/RS485  MODBUS RTU協(xié)議

擋板/源控制

每路2組觸點,到達厚度關擋板/蒸發(fā)源

鍍膜顯示

數(shù)值/速率曲線

鍍膜巡回次數(shù)

0-99

機箱尺寸

480×250×89mm(2U 19”機箱)

四、特殊功能:

1)任意設置每一路的工作狀態(tài),具有人工停止鍍膜功能;  

2)可顯示鍍膜層、材料和使用晶體振蕩頻率百分比;

3)顯示鍍膜結束后的監(jiān)測厚度、晶振頻率、材料和層次。

豫公網(wǎng)安備 41019702002438號

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