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產(chǎn)品詳情
  • 產(chǎn)品名稱:光纖繞絲單靶磁控濺射鍍膜儀

  • 產(chǎn)品型號(hào):CY-MSZ180-I-DC-SS?
  • 產(chǎn)品廠商:成越科儀
  • 產(chǎn)品文檔:
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簡(jiǎn)單介紹:
單靶磁控光纖繞絲濺射鍍膜儀是一種用于制備薄膜的設(shè)備。它可以在基板表面形成均勻、致密、薄且具有特定性質(zhì)的膜層
詳情介紹:

單靶磁控光纖繞絲濺射鍍膜儀是一種常見(jiàn)的物**相沉積(PVD)技術(shù),用于制備各種薄膜材料。其工作原理是使用一種叫做磁控濺射的技術(shù),將高純度的金屬或合金靶材濺射生成離子和中性原子,并將它們沉積在基底上形成薄膜。在這種濺射系統(tǒng)中,使用單個(gè)靶材,通常是金屬或合金的圓盤形,通過(guò)在靶材上施加高電壓和磁場(chǎng),將靶材表面的粒子加速并噴向基底。由于基底通常是經(jīng)過(guò)高溫處理過(guò)的,因此濺射的金屬粒子會(huì)快速擴(kuò)散并形成均勻的薄膜。

為了增加濺射速率和膜質(zhì)量,光纖繞絲技術(shù)被引入其中。在光纖繞絲技術(shù)中,將纖維繞在靶材和基底之間,形成一條薄薄的縫隙。通過(guò)調(diào)整靶材和基底之間的距離并控制濺射能量,可以更加**地控制沉積在基底上的薄膜的厚度和組成。

單靶磁控光纖繞絲濺射鍍膜儀是一種用于制備薄膜的設(shè)備。它可以在基板表面形成均勻、致密、薄且具有特定性質(zhì)的膜層。

這種濺射系統(tǒng)非常適合制備高質(zhì)量、高純度、均勻性好的金屬和合金薄膜,廣泛應(yīng)用于微電子、光學(xué)、電池、太陽(yáng)能電池等領(lǐng)域。

1. 光學(xué)薄膜制備:用于制作高反射、抗反射等光學(xué)薄膜。

2. 電子器件制備:用于制備半導(dǎo)體器件、導(dǎo)電膜等。

3. 光學(xué)器件制備:用于制備太陽(yáng)能電池、液晶顯示器、LED等器件。

4. 防護(hù)涂層制備:用于制備具有防水、防油、防紫外線、防磨損等性能的涂層。

總的來(lái)說(shuō),單靶磁控光纖繞絲濺射鍍膜儀廣泛應(yīng)用于科研和工業(yè)領(lǐng)域中的薄膜制備。


單靶磁控光纖繞絲濺射鍍膜儀技術(shù)參數(shù):

產(chǎn)品型號(hào)

CY-MSZ180-I-DC-SS

供電電壓

AC220V,50Hz

整機(jī)功率

2kw

繞絲機(jī)構(gòu)

尺寸

Φ15mmx245mm

繞絲速度

1-300r/min

磁控濺射頭

數(shù)量

英寸x1

冷卻方式

水冷

真空腔體

腔體尺寸

Φ213mm X 307mm

觀察窗口

φ80mm

開(kāi)啟方式

上頂開(kāi)式、左側(cè)開(kāi)式

腔體材料

不銹鋼 304

電源配置

直流電源數(shù)量

臺(tái)

輸出功率

300W

匹配方式

自動(dòng)匹配

水冷系統(tǒng)

水箱容積

9L

流量

10L/min

供氣系統(tǒng)

類型

手動(dòng)微量調(diào)節(jié)閥

真空系統(tǒng)

前級(jí)泵

雙極旋片泵

抽速

1.1L/s

次級(jí)泵

渦輪分子泵

抽速

60L/s

抽氣口

ISO63

出氣口

KF16

真空計(jì)

復(fù)合真空計(jì)



豫公網(wǎng)安備 41019702002438號(hào)

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