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產(chǎn)品詳情
  • 產(chǎn)品名稱:臺(tái)式緊湊型三靶磁控濺射鍍膜儀

  • 產(chǎn)品型號(hào):CY-MSZ325-III-DCDCDC-SS
  • 產(chǎn)品廠商:成越科儀
  • 產(chǎn)品文檔:
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簡(jiǎn)單介紹:
CY-VTC-3DC是專為非金屬薄膜鍍膜設(shè)計(jì)的三頭2"射頻等離子磁控濺射系統(tǒng),主要用于多層氧化物薄膜,是新一代氧化物薄膜研究中性價(jià)比*高的鍍膜機(jī) . 直流磁控濺射選項(xiàng)可根據(jù)要求提供金屬薄膜沉積,實(shí)現(xiàn)三個(gè)直流、一個(gè)射頻/兩個(gè)直流和兩個(gè)射頻/一個(gè)直流濺射頭配置
詳情介紹:

CY-VTC-3DC是專為非金屬薄膜鍍膜設(shè)計(jì)的三頭2"射頻等離子磁控濺射系統(tǒng),主要用于多層氧化物薄膜,是新一代氧化物薄膜研究中性價(jià)比*高的鍍膜機(jī) . 直流磁控濺射選項(xiàng)可根據(jù)要求提供金屬薄膜沉積,實(shí)現(xiàn)三個(gè)直流、一個(gè)射頻/兩個(gè)直流和兩個(gè)射頻/一個(gè)直流濺射頭配置.

磁控濺射鍍膜儀技術(shù)參數(shù):

項(xiàng)目

明細(xì)

產(chǎn)品型號(hào)

CY-MSZ325-III-DCDCDC-SS

供電電壓

AC220V,50Hz

整機(jī)功率

6KW

系統(tǒng)真空

5×10-4Pa

樣品臺(tái)

外形尺寸

φ150mm

加熱溫度

600℃

控溫精度

±1

可調(diào)轉(zhuǎn)速

20rpm

磁控靶槍

靶材尺寸

直徑Φ50.8mm,厚度3mm

冷卻模式

循環(huán)水冷

水流大小

不小于10L/Min

靶槍數(shù)量

3

真空腔體

腔體尺寸

直徑φ300mm,高度500mm

腔體材質(zhì)

SUU304不銹鋼

觀察窗口

直徑φ100mm

開(kāi)啟方式

頂開(kāi)式

氣體控制

1路質(zhì)量流量計(jì)用于控制Ar流量,量程為:200SCCM

真空系統(tǒng)

配分子泵系統(tǒng)1套,氣體抽速600L/S

膜厚測(cè)量

可選配石英晶體膜厚儀,分辨率0.10 ?

濺射電源

配直流電源,功率500W*3

控制系統(tǒng)

CYKY自研專業(yè)級(jí)控制系統(tǒng)

設(shè)備尺寸

540 mm L x 540 mm W x 1000 mm H

設(shè)備重量

145kg

 


豫公網(wǎng)安備 41019702002438號(hào)

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