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產(chǎn)品詳情
  • 產(chǎn)品名稱(chēng):桌面型雙靶磁控鍍膜儀

  • 產(chǎn)品型號(hào):CY-MSZ210-I I -DCDC-SS
  • 產(chǎn)品廠商:成越科儀
  • 產(chǎn)品文檔:
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簡(jiǎn)單介紹:
CY-MSP210S-RFD桌面型雙靶磁控鍍膜儀。設(shè)備經(jīng)過(guò)小型化設(shè)計(jì),在保留高真空不銹鋼腔體的同時(shí),精簡(jiǎn)了其他機(jī)構(gòu),將設(shè)備外形限制在了桌面級(jí)別,大大減少了安裝場(chǎng)地需求。設(shè)備配有一個(gè)直流電源一個(gè)射頻電源,直流靶可用于金屬及其他導(dǎo)電材料的濺射,射頻電源可用于各種非金屬和金屬氧化物等的濺射。設(shè)備真空系統(tǒng)采用全進(jìn)口真空泵,抽氣速度快,極限真空度高,真空性能優(yōu)異。本設(shè)備結(jié)構(gòu)緊湊功能完善便于使用,非常適合用于各類(lèi)鍍膜試驗(yàn)。
詳情介紹:

技術(shù)參數(shù):

產(chǎn)品名稱(chēng)

桌面型不銹鋼腔體雙靶磁控鍍膜儀

產(chǎn)品型號(hào)

CY-MSZ210-I I -DCDC-SS

樣品臺(tái)

外形尺寸

φ100mm

加熱溫度

500

可調(diào)轉(zhuǎn)速

20rpm

磁控靶槍

配兩支兩英寸磁控靶,靶材尺寸:直徑50.8mm,厚度≦3mm

真空腔體

腔體尺寸

φ210mm X260mm

觀察窗口

全向透明

腔體材料

304不銹鋼

開(kāi)啟方式

上蓋拆卸式

真空系統(tǒng)

前級(jí)泵

低噪音雙極旋片泵

分子泵

低噪音大抽速渦輪分子泵

真空測(cè)量

復(fù)合真空計(jì),量程:10-5~105Pa

抽氣接口

KF16

抽氣接口

KF40

排氣接口

KF16

系統(tǒng)真空

1.0×10-4Pa

供電電源

AC 220V 50/60Hz

抽氣速率

分子泵抽速600L/s,前級(jí)泵抽速1.1L/s 

電源配置

電源數(shù)量

直流電源兩套

輸出功率

500W

其他參數(shù)

供電電壓

AC220V,50Hz

整機(jī)功率

4kW

整機(jī)尺寸

550mm X 350mm X900mm


豫公網(wǎng)安備 41019702002438號(hào)

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